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SF6氣體抽真空及回充真空泵

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SF6氣體抽真空及回充真空泵

德國技術(shù)TXD-16雙級旋片式真空泵

產(chǎn)品特性:

1 .整體式缸體靜音運行

TXD系列產(chǎn)品采用整體式缸體結(jié)構(gòu),從結(jié)構(gòu)上保證缸 體 的 精 度和變形對真空泵的影響,同時采用頂面切點圓弧設計,使產(chǎn)品的極限真空穩(wěn)定在4×10 Pa以下。

2 .強制進油系統(tǒng)強制潤滑 可靠運行

TXD系列產(chǎn)品采用內(nèi)置油泵循環(huán)強制進油系統(tǒng),對泵腔進行強制潤滑,因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下較長時間工作。

3 .防返油進氣口閥迅速關(guān)閉 防止返流

TXD系列產(chǎn)品采用自動防返油閥結(jié)構(gòu),可在停泵時自動切斷被抽系統(tǒng),保證系統(tǒng)的真空及不被污染。

4 .可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)極強的水蒸汽處理能力

TXD系列產(chǎn)品裝有可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn),保證極強的耐水蒸汽能力,有效排除可凝性氣體。

5 .大散熱設計低溫運行

結(jié)構(gòu)原理:

真空泵為雙級直聯(lián)旋片式真空泵,產(chǎn)品以高可靠性、低噪音和高極限真空度為設計定位,通過采用世界的整體式泵體結(jié)構(gòu)設計,強制油泵潤滑油壓控制系統(tǒng),同時具有不同滲氣的氣鎮(zhèn)閥設計使得產(chǎn)品在不同使用環(huán)境中保持高可靠性。

用途及使用范圍:

TXD系列真空泵是真空應用領(lǐng)域中***基本的真空獲得設備,特別適用于需要獲得高極限真空低噪音環(huán)境的科研、教學、實驗室、分析儀器、醫(yī)療器械、真空鍍膜等不同真空應用領(lǐng)域。

TXD系列真空泵可作為中、低真空系統(tǒng)的主軸泵,也可以作為羅茨泵、擴散泵、分子泵等中高真空、超高真空系統(tǒng)的前級泵。

泵的技術(shù)參數(shù)如表:

技術(shù)名稱

TXD-4

TXD-8

TXD-16

TXD-24

TXD-30

TXD-48

TXD-65

抽 速m³/h(L/s)

50Hz

4 m³/h

8 m³/h

16 m³/h

24 m³/h

30 m³/h

48 m³/h

65 m³/h

1.1 L/s

2.2 L/s

4.4 L/s

6.6 L/s

8.3 L/s

13.3 L/s

18 L/s

60Hz

4.8 m³/h

9.6 m³/h

19.2 m³/h

28.8 m³/h

36 m³/h

57.6 m³/h

78 m³/h

1.3 L/s

2.6 L/s

5.2 L/s

7.9 L/s

9.9 L/s

16 L/s

21.6 L/s

極限分壓強-無氣鎮(zhèn)(Pa)

5x10-2

5x10-2

4x10-2

4x10-2

4x10-2

4x10-2

4x10-2

極限總壓強-無氣鎮(zhèn)(Pa)

5x10-1

5x10-1

4x10-1

4x10-1

4x10-1

4x10-1

4x10-1

極限總壓強-有氣鎮(zhèn)(Pa)

3

3

8x10-1

8x10-1

8x10-1

8x10-1

8x10-1

電 源

單相/三相

單相/三相

單相/三相

單相/三相

單相/三相

三相

三相

電機功率(KW)

0.4 KW/0.37 KW

0.4 KW/0.37 KW

0.75 KW/0.55 KW

0.75 KW/1.1 KW

1.1 KW

1.5 KW

2.2 KW

進排氣連接口DN

KF16/25

KF16/25

KF25

KF25/KF40

KF25/KF40

KF40

KF40

用油量

0.6-1 L

0.6-1 L

0.9-1.5 L

1.3-2.0 L

1.3-2.0 L

3.3-4.5 L

3.3-4.5 L

電機轉(zhuǎn)速(rpm)

50Hz

1440 rpm

1440 rpm

1440 rpm

1440 rpm

1440 rpm

1440 rpm

1440 rpm

60Hz

1720 rpm

1720 rpm

1720 rpm

1720 rpm

1720 rpm

1720 rpm

1720 rpm


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